| 用相位偏移干涉法精确测量量块长度 |
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| 引用本文： | 朱振宇,牛立新,严歆,张富根,任冬梅.用相位偏移干涉法精确测量量块长度[J].航空计测技术,2001,21(1):20-23. |
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| 作者姓名： | 朱振宇 牛立新 严歆 张富根 任冬梅 |
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| 作者单位： | 中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处，100095，中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处，100095，中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处，100095，中国航空长城计量测试技术研究所!北京市1066信箱长度处，100095，中国航空长城计量测 |
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| 摘 要： | 讨论了相位偏移干涉技术的原理、常用的算法和小数重合法的应用。在分析了传统的柯氏干涉仪的量块测量方法基础上 ,提出运用相位偏移干涉法的量块测量法 ,最后给出了量块测量的数据。
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| 关 键 词： | 相位偏移干涉技术 量块 测量 小数重合法 |
| 文章编号： | 1002-6061(2001)01-0020-04 |
| 修稿时间： | 2000年9月18日 |
Accurate Measurement of Gauge Block Length Using Phase-stepping Interferometry |
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| Zhu Zhenyu,Niu Lixin,Yan Xin,Zhang Fugen,Ren Dongmei.Accurate Measurement of Gauge Block Length Using Phase-stepping Interferometry[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2001,21(1):20-23. |
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| Authors: | Zhu Zhenyu Niu Lixin Yan Xin Zhang Fugen Ren Dongmei |
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| Abstract: | This paper discusses the theory of the phase\|stepping interferometry.The algorithms of phase measurement utilizing this theory,and the application of the decimal coincidence.On the basis of analyzing the method of measuring gauge blocks for the Kosters interferometer,a new method,which uses the phase\|stepping interferometry,has been brought. |
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| Keywords: | Phase\|stepping interferometry Gauge block Measurement Decimal coincidence |
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