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CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析
作者姓名:
K.Suzuki
何大安
摘 要:
作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。
关 键 词:
硅压力传感器
压阻元件
非线性分析
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