| 沉积温度突变导致金刚石膜中大量黑色缺陷形成的孪晶模型 |
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| 引用本文： | 姜春生,刘政,郭世斌,唐伟忠,吕反修.沉积温度突变导致金刚石膜中大量黑色缺陷形成的孪晶模型[J].航空材料学报,2010,30(2):51-57. |
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| 作者姓名： | 姜春生 刘政 郭世斌 唐伟忠 吕反修 |
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| 作者单位： | 北京科技大学,材料学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点基金 |
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| 摘 要： | 提出了沉积温度突变时黑色缺陷形成的孪晶机制模型。这一模型提出的基本假设为:沉积温度改变时,金刚石膜的表面上产生贯穿型的孪晶,孪晶以及原来的晶粒的各晶面均将按α2d所规定的生长速率扩张,在生长时相邻晶粒的晶界处形成了一种形如"峡谷"状的、相邻晶面夹角过小的局部环境,后者将导致活性气体扩散的过程难于进行,从而形成黑色缺陷。在此假设的基础上,利用水平集方法对此模型进行了二维的模拟,并通过实验进行了验证。模拟及实验的结果表明,在金刚石膜沉积的过程中,沉积温度的突变将通过在众多金刚石晶粒的表面诱发产生孪晶,显著提高金刚石膜中黑色缺陷的形成几率。
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| 关 键 词： | 金刚石膜 黑色缺陷 水平集方法 生长参数 |
Twin Model on Dark Features Formation in Diamond Films by Deposition Temperature Changed |
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| JIANG Chun-sheng,LIU Zheng,GUO Shi-bin,TANG Wei-zhong,LV Fan-xiu.Twin Model on Dark Features Formation in Diamond Films by Deposition Temperature Changed[J].Journal of Aeronautical Materials,2010,30(2):51-57. |
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| Authors: | JIANG Chun-sheng LIU Zheng GUO Shi-bin TANG Wei-zhong LV Fan-xiu |
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