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| 21世纪初微电子技术展望 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 随着21世纪的到来，电子信息产业将成为世界第一大产业，21世纪将是名符其实的信息化世纪，人们对微电子今后的发展趋势越来越关注．21世纪和微电子技术发展的3个主要方向1．21世纪初仍将以硅荃CMOS电路为主流工艺；2．集成系统是21世纪初微电子技术发展的重点．3．微电子与其他学科的结合诞生新的技术增长点．近几年将得到快速发展的几种微电子工艺技术1．超微细线条光刻技术；2．铜互连和低K互连绝缘介质；3．高K栅绝缘介质；4．SOI技术；5．CeSi、GaN技术21世纪将是我国微电子技术的黄金时间在具体实施上，应着重加强以下四个方面… |
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