光学干涉计量用共光路动态干涉仪光机结构设计

光学干涉计量方法具有一系列独特的优点,包括非接触、非破坏、髙精度和高灵敏度等,在生产和科学研究领域获得了广泛的应用。干涉仪作为检验光学系统、光学元件最准确最有效的工具之一,在光学计量方面发挥了重要作用。为了满足光学系统现场检验和恶劣环境下光学元件的高精度测量和连续的动态测量,需开展光学干涉计量用共光路动态干涉仪设计研究,本文针对光学干涉计量用共光路动态干涉仪开展光机结构设计研究。