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| Sol—GelTiO2薄膜的氮化研究 | |
| 引用本文： | 李亮,王珉,刘凤英,傅桂龙.Sol—GelTiO2薄膜的氮化研究[J].航空制造技术,1999(1):45-46. |
| 作者姓名： | 李亮 王珉 刘凤英 傅桂龙 |
| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院 |
| 摘 要： | 探讨了一种制备多孔性氮化钛薄膜的新方法。以钛酸正丁酯ＴＩＲ为前驱物，通过溶胶－凝胶（ｓｏｌ＿ｇｅｌ）过程可在不锈钢等基体材料表面涂覆一定厚度的ＴｉＯ２凝胶膜。Ｘ－射线衍射分析（ＸＲＤ）表明，以ＮＨ３气作为氮化气氛，能完成在ＴｉＯ２薄膜到ＴｉＮ薄膜的转变。 |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 氮化 氮化钛薄膜 |
Study on Nitridation of TiO2 Films Prepared by Sol-Gel Process |
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