微机型四坐标万能工具显微镜测量系统

本成果是在普通万能工具显微镜的导轨上加装轴向光栅传感器，光学分度台上加装圆感应同步器，中央显微镜处安装电感测头（或多向触发式测头），通过接口电路与微机联接所形成的一套微机辅助座标测量系统。在使用时，被测零件的座标值由采样开关控制送入计算机，通过相应误差软件处理，便可迅速得到被测零件的几何形状误差。