应用于超精密测量的电容传感器 |
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引用本文: | 吴宇列,解健,李圣怡.应用于超精密测量的电容传感器[J].航空精密制造技术,1997(6). |
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作者姓名: | 吴宇列 解健 李圣怡 |
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作者单位: | 国防科技大学机械电子工程与仪器系 |
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摘 要: | 针对用调频测量法的电容传感器在实际使用中存在的体积大,漂移大等问题提出了一系列的解决办法,并对改进后的传感器进行长短期稳定性实验及标定。实验结果表明,在体积大大减少的情况下,分辨率及稳定性都保持相当好的水平,同时也给出了一种测量传感器输出频率的新颖的高速计数电路。
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关 键 词: | 电容传感器 超精密 稳定性 |
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