| 新型薄膜材料在电子倍增器中的应用研究 |
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| 引用本文： | 闫保军,刘术林,温凯乐,王玉漫,张斌婷,徐美杭,韦雯露,彭华兴. 新型薄膜材料在电子倍增器中的应用研究[J]. 空间电子技术, 2022, 19(4): 85-92 |
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| 作者姓名： | 闫保军 刘术林 温凯乐 王玉漫 张斌婷 徐美杭 韦雯露 彭华兴 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室, 北京 100049；2.中国科学院大学，北京 100049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（编号：11975017，11675278, 11535014）；核探测与核电子学国家重点实验室项目（编号：SKLPDE-ZZ-202215） |
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| 摘 要： | 为了提高核探测、航空航天、国防和精密科学仪器等领域中传统电子倍增器的性能，使其在较低的工作电压和入射电子能量下实现高增益、低噪声、长寿命的目标，在材料制备、二次电子发射测试和电子倍增器性能优化等方面开展了大量研究工作。利用原子层沉积(atomic layer deposition, ALD)技术研制了具有较高二次电子产额(secondary electron yield, SEY)的新型薄膜材料，研究了元素掺杂和表面修饰改善材料二次电子发射特性的方法，详细测试了薄膜材料的二次电子发射特性参数。利用ALD技术将新型薄膜材料成功应用于微通道板(microchannel plate, MCP)和单通道电子倍增器(channeltron electron multiplier, CEM)中，测试结果如下：相同工作电压下，镀膜后MCP组件的增益、单电子分辨率、峰谷比分别改善了约166%、17%和260%;对于单个CEM,镀膜前工作电压为2700V时增益才能达到108,而镀膜后1600V下即可达到相同增益(工作电压降低了1100V),并且其它各项参数(分辨率≤26%,累计拾取...
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| 关 键 词： | 二次电子产额 原子层沉积 微通道板 单通道电子倍增器 粒子探测 |
Research on the application of new thin film material in electron multipliers |
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| YAN Baojun,LIU Shulin,WEN Kaile,WANG Yuman,ZHANG Binting,XU Meihang,WEI Wenlu,PENG Huaxing. Research on the application of new thin film material in electron multipliers[J]. Space Electronic Technology, 2022, 19(4): 85-92 |
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| Authors: | YAN Baojun LIU Shulin WEN Kaile WANG Yuman ZHANG Binting XU Meihang WEI Wenlu PENG Huaxing |
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