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| 碳/钛复合薄膜结构二次电子发射规律 | |
| 作者姓名： | 柴雅芳 朱淑凯 赵亚楠 胡天存 杨晶 何鋆 胡忠强 刘明 |
| 作者单位： | 西安交通大学 电子科学与工程学院 电子陶瓷与器件教育部重点实验室与国际电介质研究中心，西安 710049;中国空间技术研究院西安分院 空间微波技术重点实验室，西安 710000 |
| 基金项目： | 国防科技重点实验室开放项目（编号：6142411191110）；国家青年项目（编号：12004297） |
| 摘 要： | 随着我国航天事业的发展，航天器中搭载的微波部件趋于小型化、集成化，而由此带来的微放电效应愈发显著，如何有效抑制微放电效应已成为当前研究的热点。文章使用磁控溅射技术制备了不同掺杂比例的钛/碳复合薄膜。对薄膜样品进行形貌、拉曼光谱及二次电子发射特性的测试分析。结果表明：随着金属钛掺杂比例的提高，薄膜按照柱状结构生长的规律越明显，致密度和平整度越好。结合测试结果及相关理论分析薄膜作用的机理，在碳/钛原子比为0.764时，复合薄膜的最大二次电子发射系数为1.40。碳/钛纳米复合薄膜对微放电效应具有良好的抑制效果，且具有大面积制备及工艺简单等特点。有助于未来有效载荷系统向高功率、高频段、集成化的方向发展。 |
| 关 键 词： | 表面结构 钛/碳基纳米薄膜 微放电效应 二次电子发射系数 |
Research on the structure and suppression of secondary electron emission of carbon/titanium composite films |
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| Authors: | CHAI Yafang ZHU Shukai ZHAO Yanan HU Tiancun YANG Jing HE Yun HU Zhongqiang LIU Ming |
| Abstract: | |
| Keywords: | surface structure titanium/carbon nanocomposite films multipactor secondary electron yield |
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