| 电子元器件性能与液相外延工艺 |
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| 引用本文： | 江鉴,张仕国.电子元器件性能与液相外延工艺[J].上海航天,1997,14(3):53-56,63. |
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| 作者姓名： | 江鉴 张仕国 |
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| 作者单位： | 航天工业总公司八院８０９所电子器件测试中心(江鉴)，浙江大学硅材料科学国家重点实验室(张仕国) |
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| 摘 要： | 分析了液相外延（ＬＰＥ）在微电子工艺中的状况及其原理，概述了ＬＰＥ在器件制造中的应用，指出了ＬＰＥ的电子元器件的优良特性，给出了ＬＰＥ在光电子领域研究中的最新成果。
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| 关 键 词： | 电子元件 液相外延 微电子工艺 电子器件 |
ELECTRONIC DEVICES AN D LIQUID PHASE EPITAXY |
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| Jian,Jiang.ELECTRONIC DEVICES AN D LIQUID PHASE EPITAXY[J].Aerospace Shanghai,1997,14(3):53-56,63. |
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| Authors: | Jian Jiang |
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| Abstract: | This paper analysed Liquid Phase Epitaxy(LPE)in the development of microelectronics, explained the basic theory of LPE, summerized the application and characteristics of LPE in electronic device fabrication. At the end of this paper, we gived recent achievements of LPE in electron-optics. |
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| Keywords: | Electronic devices Liquid phase epitaxy Electron-optics |
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