SPM应用于超精密加工领域的重要性及特殊性 |
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引用本文: | 赵清亮,李旦.SPM应用于超精密加工领域的重要性及特殊性[J].航天制造技术,1998(6):45-49. |
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作者姓名: | 赵清亮 李旦 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学 |
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摘 要: | 讨论了扫描探针显微镜(SPM)作为一种显微工具的优势和不足。介绍了把SPM应用于超精密加工检测领域所要注意的问题,指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化及多功能化,只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而引导超精密加工的发展。
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关 键 词: | SPM STM AFM 超精密加工表层多传感技术 |
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