| PSD器件及其在精密测量中的应用 |
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| 引用本文： | 张广军.PSD器件及其在精密测量中的应用[J].北京航空航天大学学报,1994,20(3):259-262. |
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| 作者姓名： | 张广军 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学自动控制系 |
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| 摘 要： | ＰＳＤ器件是近几年出现的一种新型位置探测器，可直接用来测量角度、高度、距离及运动，本文介绍了ＰＳＤ器件的工作，给出了三种ＰＳＤ器件的等电路和坐标位置电流函数表达式，并就ＰＳＤ器件在位移和三维运动测量中应用方式和应用范围进行了讨论。
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| 关 键 词： | 测高 测距 等效电路 位置传感器 |
PSD AND ITS APPLICATIONS TO PRECISION MEASUREMENT |
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| Zhang Guangjun.PSD AND ITS APPLICATIONS TO PRECISION MEASUREMENT[J].Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics,1994,20(3):259-262. |
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| Authors: | Zhang Guangjun |
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| Institution: | Beijing University of Aeronautics and Astronautics.Dept.of Automatic Control |
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| Abstract: | PSD is a novel position detector coming out in recent years.It can be applied todetecting angle. height. distance and movement.In this paper. the principle of PSD isintroduced, and the equivalent circuits and conversion formulae of three types of PSD aregiven. Finally the applications of PSD to precision measurement are discussed. |
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| Keywords: | height measurement: distance measurement:equivalent circuits:threedimensional motion: PSD |
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