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| 纳米计量与分子坐标测量机系统设计（2） | |
| 引用本文： | 王佳.纳米计量与分子坐标测量机系统设计（2）[J].航空计测技术,1996,16(3):39-41. |
| 作者姓名： | 王佳 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器系!北京市，100084 |
| 摘 要： | NanmetrologyandMolecularMeasuringMachineSystemDesign（2）WangJia4分子测量机计量系统STM和AFM均不是计量型仪器，而是作为位置传感器。分子坐标测量机必须采用能够溯源的超高分辨率激光外差干涉仪作为测量参考基准，并测量探针和样品之间的相对运动。激光外差可采用塞曼频率分裂，多模激光器或声光电光调制原理。干涉仪采用了光学8倍频。用相位计从时间间隔分析器中计算相位，其时间分辨率为200pa，电子细分技术实现1000细分。干涉仪的分辨率为0．075um。获得高精度的主要障碍是激光器和干涉仪光学元件中偏振态混合效应和非线性… |
| 关 键 词： | 纳米计量 分子坐标测量机 |
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