ZnO透明导电薄膜制备及紫外辐照处理特性研究

ZnO作为一种典型的透明导电氧化物（Transparent conductive oxide,TCO）材料，具有同氧化铟锡(Indium tin oxide,ITO)相比拟的光电性能，其原料丰富、绿色环保、易于制备、生成成本低等优点使ZnO成为最有希望替代ITO的材料。本文以玻璃为衬底，利用量子点种子层作为缓冲层，采用传统水热方法制备了低成本ZnO透明导电薄膜，采用特殊的紫外光辐照工艺对薄膜进行后处理，探索薄膜生长参数和紫外光辐照处理工艺对其透光率和导电性的影响。结果表明，紫外辐照处理不影响薄膜的透光性能，而使材料的方块电阻降低3个数量级，数值从没处理时的1.5×105 Ω/□降低到 150 Ω/□，极大地提高了薄膜的电导率，为ZnO薄膜材料电导率的提高提供了一个简单高效的途径。

Hydrothermal Growth and Subsequent UV Treatment for Transparent Conductive ZnO Films