侧喷式微型压电合成射流器制作及其振动测试 |
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引用本文: | 王树山马炳和邓进军曲红冬.侧喷式微型压电合成射流器制作及其振动测试[J].航空精密制造技术,2014(3):5-8. |
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作者姓名: | 王树山马炳和邓进军曲红冬 |
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作者单位: | 1.西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室710072; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51105317)资助项目 |
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摘 要: | 结合主动流动控制需求,针对研发的侧喷式微型压电合成射流器提出了一种加工工艺并进行了振动性能测试。主要的微加工工艺流程包括:采用体硅感应耦合等离子刻蚀技术加工喷口和腔体,硅-玻璃阳极键合,利用新的PZT刻蚀溶液对基于硅的PZT压电振膜图形化。引线键合并划片之后,对制作器件的压电振子进行了测试。结果表明,压电振子谐振频率为5kHz,中心处最大振幅为15.05μm,振动速率为472.2mm/s。压电振子的振幅和振动速率变化一致,同时受到驱动电压幅值和频率的影响。
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关 键 词: | 合成射流器 侧喷式 MEMS 加工工艺 压电振子 |
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