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磁增强氢气电离器的研制
作者姓名:
L.Maleki
牟萍
摘 要:
在对影响射频氢气电离器效率的工艺问题进行研究的基础上,研制了一种将直流磁场加到射频等离子体的电离器,然后测定磁场对等离子体的影响。人们发现,采用这种结构型式,电离器的功耗明显降低。利用直流磁场,还可以使效率保持在固定水平上,同时降低氢气压力。根据这些研究结果,对研制一种耗氢量低、射频功耗小的电离器进行某些探讨。
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