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| 立体微细光刻技术 | |
| 引用本文： | 苑伟政,邓修瑾,张春江.立体微细光刻技术[J].航空精密制造技术,1995(5). |
| 作者姓名： | 苑伟政 邓修瑾 张春江 |
| 作者单位： | 西北工业大学１００３教研室 |
| 摘 要： | 介绍了立体微细光刻技术研究的意义、发展趋势、工作原理和基本实现方法，旨在促进此项高新技术的应用发展． |
| 关 键 词： | 立体微细光刻，微机械 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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