微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评(上)

微机电系统技术是国际上８０年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术。现在和潜在的应用说明它将对国防武器装备产生重大影响。微机械制造技术和封装、组装、测试技术是微机电系统赖以发展的基础。目前,许多工业发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和２１世纪初国家重点支持和发展的关键技术。本文集中探讨对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。