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| 电容式多孔硅湿敏元件初探 | |
| 引用本文： | 涂楚辙,杨勇兵,贾振红,黄晓辉,李新刚,向梅.电容式多孔硅湿敏元件初探[J].航空计测技术,2006,26(Z1):62-64. |
| 作者姓名： | 涂楚辙 杨勇兵 贾振红 黄晓辉 李新刚 向梅 |
| 作者单位： | 新疆大学信息科学与工程学院，喀什师范学院物理系，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院 新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 喀什 844000，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046 |
| 摘 要： | 阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16%RH～68.86%RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞. |
| 关 键 词： | 多孔硅湿敏元件 湿敏特性 湿滞 |
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