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用于PolyStrata技术的光刻工艺探索研究
作者姓名:
汪郁东
赵广宏
陈青松
金小锋
张姗
作者单位:
北京遥测技术研究所
摘 要:
在高集成的射频微机电系统RF MEMS(Radio Frequency Micro Electro Mechanical System)器件的发展趋势下,三维集成工艺的研究越来越多。基于PolyStrata技术的三维多层堆叠同轴器件以其无色散、低损耗、超宽带的优势脱颖而出,PolyStrata技术使用紫外厚胶作为牺牲材料,对光刻胶粘附性、精度、工艺兼容及释放性能要求高,常规厚胶难以满足。探索A、B两种紫外光刻厚胶,对两者工艺参数及图形质量进行对比研究。结果表明,光刻胶A厚度均匀性为98.6%,图形偏差小于10μm;光刻胶B图形偏差小于5μm,但均匀性较差,约80.4%。
关 键 词:
RF
MEMS
PolyStrata
紫外光刻
厚胶
Research on lightgraph technology for PolyStrata technology
Authors:
WANG Yudong
ZHAO Guanghong
CHEN Qingsong
JIN Xiaofeng
ZHANG Shan
Institution:
Beijing Research Institute of Telemetry
Abstract:
Keywords:
RF MEMS
PolyStrata
UV lithography
Thick photoresist
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