超小型纳米级驱动装置控制系统的研究

本文介绍了根据压电元件快速变形所引起的惯性力和摩擦力实现纳米级驱动装置的原理。针对微位移器的静、动态特性，研制了新型微位移器驱动源。试验结果证明，该驱动源大大改善了微位移器的过渡过程和动态特性，满足微步距驱动装置控制和驱动的需要。