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辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究
引用本文:周中奇,王波,何文强,乔政,刘艺.辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究[J].航空精密制造技术,2017,53(5).
作者姓名:周中奇  王波  何文强  乔政  刘艺
作者单位:哈尔滨工业大学精密工程研究所,哈尔滨,150001
摘    要:本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。

关 键 词:辊筒模具  超精密加工  几何误差模型  误差补偿

Geometric Error Modeling of Ultra-precision Drum Roll Lathe and Research on Compensation Algorithm
Abstract:The ultra-precision drum roll lathe is used as the vector of research. The ring groove array which is a representative microstructure is used as the research object. The geometric error model of lathe was established by multibody system and homogeneous coordinate transformation method to get the influence of geometric error on ring groove array. The error component is measured by laser interferometer. An error compensation method is proposed to improve the quality of ring groove array.
Keywords:hemispherical resonator  A3200 controller  numerical control system
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