晶片级BiCMOS接口电路微型加速度计

本文提出了一种具有微机电传感全微分的晶片级微型加速度传感器，并具有连续时间的BiCMOS接口电路。通过使用微加工技术的过程来完成敏感元件的导向使用。为了保护敏感元件硅结构，提高其可靠性，可通过晶片级密封包装的过程实现，并结合使用硅玻璃。虚构的传感元件可以改善噪声性能的固有高宽比，以及校本管理过程中的不稳定性。