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| 分步投影光刻机的照明光学系统 | |
| 引用本文： | 张强.分步投影光刻机的照明光学系统[J].航空精密制造技术,1996(6). |
| 作者姓名： | 张强 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 阐述了照明光学系统在分步投影光刻机中的重要作用，介绍了当采用部分相干光照明时相干度对分辨率的影响，以及Ｋｏｈｌｅｒ照明中聚光镜像差对成像的影响，同时也介绍了离轴照明（ＳＨＲＩＮＣ照明和环形照明）对改善分辨率和焦深的作用，最后扼要介绍综合照明系统和变焦距照明光学系统。 |
| 关 键 词： | 相干度，K hler照明，聚光镜像差，离轴照明 |
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