| 大面积石墨烯薄膜转移技术研究进展 |
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| 引用本文： | 陈牧,颜悦,张晓锋,刘伟明,周辰,郭志强,望咏林,厉蕾,张官理.大面积石墨烯薄膜转移技术研究进展[J].航空材料学报,2015,35(2):1-11. |
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| 作者姓名： | 陈牧 颜悦 张晓锋 刘伟明 周辰 郭志强 望咏林 厉蕾 张官理 |
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| 作者单位： | 北京航空材料研究院,北京,100095 |
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| 摘 要： | 化学气相沉积法合成的石墨烯薄膜在实现石墨烯产业化应用过程中,依赖于大面积薄膜转移技术的突破性进展。本文按照中介物过渡转移法、直接干法和湿法转移法、大规模卷对卷转移法分类介绍了现有的30多种石墨烯薄膜转移方法,从微观机理到宏观实现方法对比了三类方法的优缺点和适用范围:中介物过渡转移法主要用于实验室阶段科学探索,转移后的薄膜质量高但尺寸小;直接干法和湿法转移法减少了中介物过渡流程,但仍处于小试阶段;大规模卷对卷转移法借鉴了半导体薄膜工业成熟的卷对卷技术,实现了米级尺寸薄膜的高效和可重复性转移,是目前批量化转移石墨烯薄膜的最有效途径。
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| 关 键 词： | 石墨烯薄膜 转移技术 目标基片 中介物过渡转移 卷对卷转移 |
Advances in Large-Area Graphene Film Transfer Techniques |
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| CHEN Mu;YAN Yue;ZHANG Xiao-feng;LIU Wei-ming;ZHOU Chen;GUO Zhi-qiang;WANG Yong-lin;LI Lei;ZHANG Guan-li.Advances in Large-Area Graphene Film Transfer Techniques[J].Journal of Aeronautical Materials,2015,35(2):1-11. |
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| Authors: | CHEN Mu;YAN Yue;ZHANG Xiao-feng;LIU Wei-ming;ZHOU Chen;GUO Zhi-qiang;WANG Yong-lin;LI Lei;ZHANG Guan-li |
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| Institution: | CHEN Mu;YAN Yue;ZHANG Xiao-feng;LIU Wei-ming;ZHOU Chen;GUO Zhi-qiang;WANG Yong-lin;LI Lei;ZHANG Guan-li;Beijing Institute of Aeronautical Materials; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | graphene films transfer techniques target substrates mediator-assisted transfer roll-to-roll transfer |
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