光刻技术在流体动力密封研究中的应用

主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况，提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径．结果表明，采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术，可加工出满足设计要求的螺旋槽动环．     

光刻膜片在膜片阀中的应用

介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点，论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理，介绍了光刻膜片在膜片阀中的应用情况，经爆破试验和发动机热试车表明：膜片阀设计合理，膜片光刻工艺可行。     

光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。     

光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。