近紫外辐照对OSR二次表面镜导电性能影响研究

文章研究了近紫外辐照试验前后OSR二次表面镜的电学性能变化规律,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)对近紫外辐照后的涂层表面形貌和成分进行了分析,进而探讨了近紫外辐照对OSR二次表面镜导电性能变化机理。研究发现,OSR二次表面镜的表面电阻率随着紫外辐照度的增加而指数减小,氧空位吸附氧的解析、In-O键的断裂和氧空位的增加是近紫外辐照OSR二次表面镜表面电阻率降低、导电性能增强的主要原因。