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介绍了用离子束辅助蒸发工艺在高折射率锗(Ge)基片上镇制的高性能硫化锌(ZnS)红外增透膜(也称红外减反射膜)及其工艺的研制,通过与常规热蒸发工艺镀制的硫化锌增透膜的性能相比较,证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增透膜的光学特性、膜层品质及改变薄膜的结构和应力状态有良好的效果。试验表明用该技术镀制高性能硫化锌红外增透膜能满足长寿命、高可靠卫星红外地球敏感器的使用要求。 相似文献
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叙述了在硫化锌(ZnS)基底上制备8~12μm波段红外增透膜的工艺研究,包括膜系设计与选择、薄膜制备工艺试验和研究,并给出了相应的红外增透膜透过性能的测试结果。 相似文献
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