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影响超精密加工精度的主要因素 总被引：2，自引：0，他引：2
超精密加工技术是衡量国家科学技术水平的重要标志之一。本文从超精密加工机床、超精密加工刀具、被加工材料、超精密测量、超精密加工环境等方面，分析了影响超精加工精度的因素及产生的原因。 相似文献
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