压力传感器膜片表面温度的测量和分析计算

用红外热成象技术测量应变式压力传感器工作时的膜片温度分布,以判断由于电阻应变片工作时温度变化对测量准确性的影响。测量中为获得应变片的真实温度,作了表面喷黑处理。对于实用的3MPa和0.6MPa的压力传感器,在不同工作介质(空气和变压器油)及工作电压条件下进行了测量,其结果表明:应变片表面温度随工作电压增高而加大,且不均匀。以空气为介质的温度高于以变压器油为介质的温度。据此可以确定对压力测量准确度的影响。还用有限差分方法对压力传感器膜片表面温度作了数值分析计算。