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在研究了频域三点法误差分离技术(EST)测量直线度误差的基础上,进一步研究了时域三点法EST,得出了时域三点法EST测量直线度误差递推矩阵方程,并进行了仿真计算,分析比较了两种方法的可靠性。 相似文献
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