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本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为10微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化BICMOS制造过程合二为一的要求。 相似文献
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电容式传感器测量技术是现代飞机燃油油量测量的关键技术之一.随着现代航空技术的发展,对燃油测量精度的要求越来越高.通过对电容式传感器工作原理的介绍,分析出电容式补偿传感器的引入可消除温度变化带来的测量误差,提高飞机燃油测量系统的测量精度和可靠性.同时给出了补偿传感器在传统模拟式燃油测量系统和现代数字式燃油测量系统的应用. 相似文献
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王友敬 《中国民航学院学报》2000,18(1):18-24
就电容式油量表零、满值调整及故障分析,从理论上进行了深入研究和探讨,总结了油量表零、满值的调整规律及电路故障分析的基本方法,为维修人员 实际工作提供了参考。 相似文献
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研究了风速对电容式湿度传感器最终测量值和响应时间的影响,并分析了产生影响的机理;根据测量数据拟合出了电容式湿度传感器的响应时间和风速之间的函数关系。 相似文献
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简要介绍了一种胶带纸胶层厚度在线检测系统。该系统将高准确度电容传感器与计算机结合起来,并配有丰富的外围器件,实现了实际生产中所需要的多种功能。经过两年多的实际应用,该系统实现在线间接测量,准确度高,动态性能好,功能全面,价格合理,是胶带纸生产的必备检测仪器。 相似文献
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文章首先从理论上分析了自激法的工作原理.其次采用FKGST光导介损测试仪提供的自激法,对整体状态下的电容式电压互感器(CVT)的电容及介损进行了测量.最后对产生误差的原因进行了分析. 相似文献