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基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中. 相似文献
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根据磁悬浮零部件专用测量机气浮运动组件内外球面的高精度技术要求,设计一种角摆静压力自动补偿万向球头节研磨机构,在普通车床上采用内外球面自动研磨的方法代替传统手工对研.实践证明提高了气浮运动组件的研磨质量和效率,有一定参考价值. 相似文献
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提出一种采用单尺反转原理和误差分离技术测量机床导轨直线运动误差的方法,其测量不确定度在一般条件下可达0.1μm/m,可广泛应用于精密机床导轨测量与检定等领域。 相似文献
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