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射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系。研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15nm时硬度值达到最大23、8GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值。 相似文献
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高能机械加工表面纳米化40Cr钢组织结构与力学性能 总被引:2,自引:0,他引:2
利用超声高能机械加工处理工艺在40Cr钢表面制备了纳米晶表面层。采用SEM,TEM和纳米压痕技术等分析了表面纳米晶层的组织结构与力学性能。实验结果表明,表面是由分布均匀的纳米级铁素体和纳米级渗碳体晶粒构成的复合纳米结构,过渡区由纳米级的渗碳体晶粒和粗晶铁素体晶粒构成。表面平均晶粒尺寸为3nm。随着深度的增加,晶粒尺寸逐渐增大。表面硬度高达8GPa,为基体硬度的3倍,随着深度的增加,硬度迅速降低。表面层弹性模量为252GPa,与基体十分接近。 相似文献
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