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阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。 相似文献
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干涉SAR相位展开算法的比较和改进 总被引:1,自引:1,他引:1
基于残差理论深入分析和比较了 2种最主要的干涉 SAR相位展开方法积分路径法和最小均方法的策略及性能。对加权最小均方算法从初始值和权值进行了讨论,给出了一种合成加权多重网格算法。该算法结合了分支阻断方法简单快速并有一致解的特点,使它为多重网格最小均方算法提供初始值,加速了多重网格算法的收敛;并采用由相位导数方差生成的二值质量图替代相关系数作为权值输入,增强了算法的适应能力及可靠性。实际 X-SAR数据的相位展开处理结果验证了本文的分析和结论。 相似文献
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