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加速度计B-290是应用在姿态与航向基准系统中新一代的惯性级敏感器。B-290敏感器是用微机械加工方法进行设计和生产的,它应用平板印刷术,化学汽化沉积法,异向性刨刻法、金属溅蚀法硅-硅粘接法。所用的主要设备和电子芯片的生产相类似。它包括粘接在一起的五个硅板,整个处理过程是在一个晶片组件上加工140个敏感器。 相似文献
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对微小空间的相变传热和流动的微尺度效应的研究进展进行了阐述,包括下列几个方面:固体表面上薄液膜厚度的微尺度效应;圆形截面毛细管管径的微尺度效应;毛细管的截面形状微尺度效应;壁面纳米级粗糙度的微尺度效应;微型热管(MHP)的微尺度效应和连续性极限、堵塞极限;平板热管(FMHP)的壁面粗糙度微尺度效应和沸腾极限;脉动热管(PHP)管径的微尺度效应;薄液膜的稳定性等。研究分析了上述各方面微尺度效应的机理,归纳推知增加每个薄液膜区域的面积和增加薄液膜区域的数量这两种方法均可提高蒸发器的性能,后一种方法可操作性强,为高效蒸发器性能的提高指明了方向。 相似文献
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航天器回收用静压高度控制器的研制 总被引:2,自引:1,他引:1
静压高度控制器是载人飞船启动回收着陆系统的关键部件,也是返回式卫星和其它航天器回收系统启动信号的一种方式,其经受恶劣环境,性能、要求高。静压高度控制器又分为膜盒式和硅压力式,文章主要论述了硅压力静压高度控制器在回收系统中的作用,主要介绍了它的工作原理和组成,研制中解决的电路、结构及可靠性方面的问题,并给出了试验结果和研制结论。 相似文献
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几何量纳米计量发展综述 总被引:1,自引:0,他引:1
对国外如何改进线性和角位移计量的传统办法,使之能进行纳米级测量,并应用扫描通道式显微镜(STM)对微观轮廓测量进行了综合分析。 相似文献
9.
为了制作比以前的体积更小的芯片,美国工业界和大学的科学家们都正在关注新一代集成电路的封装技术。 据美国惠普公司(HP)和洛杉矶加洲大学(UCLA)的研究人员称,他们已获得可能导致生 相似文献
10.
纳米级材料及其在航空上的应用前景石汶为了改善材料的性能,航空材料的发展经历了从粗晶到细晶、微晶到纳米晶的过程。早在80年代中期,HerbertGleiter就用一种简单的物理气相沉积法合成了“一种新形式的物质”,取名为“纳米相”(也称作“纳米晶”)材... 相似文献