一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法

针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pull in)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响.通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动器的有效行程至2.09μm,达到初始间距的44%.     

静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟

分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。