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用M6800单板机控制液相外延炉,以保证控温的稳定性和重复性,介绍了这种控温系统的原理,论证了该系统对碲镉汞晶膜液相外延生长的作用。  相似文献   
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简述了编制工艺规范的意义,并通过几项工艺规范编制的实践,介绍了做法和工作体会,提出了编制工艺规范工作中值得讨论的几个问题。  相似文献   
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