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氦氖激光拍波绝对干涉测长技术现状 总被引:1,自引:0,他引:1
近20年来,国内外众多学者一直在潜心研究大长度绝对干涉测量技术,并先后研制出以二氧化碳、氦氙和氦氖激光器为光源的若干测量系统,但至今尚未进入实用阶段,介绍了几种用氦氖激光器作光源的拍波绝对干涉侧长系统,对其优缺点进行了详细分析,并指出了该技术实用化过程中的几个关键问题,以便早日研制成功实用的大长度绝对干涉测量仪,从而满足科研和工业生产的需要。 相似文献
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