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基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数.研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术,以指导工艺改进和新工艺的开发. 相似文献
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