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探讨在超精密微小型铣床上进行微结构的精密微细铣削的可行性,使用不同类型的微小刀具在高分子材料上成功的加工出不同的微结构阵列,使用扫描电子显微镜和激光共聚焦显微镜观察并分析了精密微细铣削加工的微结构阵列.  相似文献   
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