基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真

应用细胞自动控制算法对硅湿法刻蚀进行物理仿真,按硅原子晶体结构构建细胞单元,以原子共价键连接状态和相邻细胞的状态来判断刻蚀中某个细胞是否去除或者保留,最后获得与理论分析相符的仿真结果.     

MEMS微结构粘附问题研究

阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。     

微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势

重点论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术-微细加工技术。阐述了微机械与微／纳米科技、微电子技术之间的相互关系．分析了微机械研究的发展趋势并着重对航空航天领域内的有关研究给予展望．     

典型微机械材料的准分子激光加工特性

针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律 ,并探讨准分子激光最适宜的应用环境和条件     

质量控制的智能化研究

简述了工序质量检验的智能方法及应用人工神经网络技术进行质量控制图异常模式自动识别等质量控制的智能化方法．重点介绍了作者提出的基于质量特性预测、采用自适应自校正网络的质量控制方法，以及依据确定性测量理论、应用有监督线性特征映射网络（SLFM）的过程参数控制法．     

基于光切法的微结构三维尺寸测量

针对微机械结构加工特点及其对相应测量技术所提出的特殊要求,运用光切法对三维微结构尺寸测量（尤其是高度尺寸）进行了实验研究和理论分析,阐明了其可行性与潜在优势。