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方树元 《航空精密制造技术》1981,(2)
一、问题的提出光栅技术用于长度、角度的计量目前已相当广泛。由于测量精度不断提高的要求,近年来,改善光电信号的质量问题,引起很多人的关注。这是进一步实现高倍细分,提高测量精度的关键问题。与电感式(如感应同步器)、电容式传感器比较,欲得到高质量的原始信号,应用光栅技术还多一个手段,即光学空间滤波。文献介绍西德蔡司厂的“光电正 相似文献
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目前,小功率随动系统已广泛地应用在各种加工、测量和试验设备中,如:伺服转台、速率转台、极轴翻滚试验台和数字式倾斜模拟台等惯导器件测试设备,都是小功率随动系统的应用实例。随着科学技术的不断发展,对随动系统的精度要求也越来越高,诸如此类的角度分辨率为 相似文献
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