日本东北大学衍射光栅刻划工艺现状

本文介绍了作者在1988年～1989年间作为访问学者,到日本东北大学科学计测研究听软X射线光学应用计测研究室光学素子研究组进行访问学习。在波冈武教授、高岛幸史助教授的指导下所从事的有关衍射光栅刻划工艺方面的工作。     

转矩测量仪

简要介绍动态小量程转矩、转速测量的工作原理及结构；对转矩测量仪设计中遇到的关键问题进行了探讨。     

激光扫平仪的误差分析、测试和分离

介绍了一种激光扫平仪的自检方法,不仅可以检测出综合误差,并可同时分离出几项主要的系统误差,为激光扫平仪的检测争校准提供了可靠的依据。文中对激光扫平仪的误差来源作了详细的分析,并给出了实验结果。