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等离子体表面技术的研究与应用 总被引：5，自引：0，他引：5
概述了离子注入、离子束沉积、等离子喷涂、离子镀、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理和双层辉光离子渗金属等等离子体表面技术的基本原理和最新进展,并给出了部分典型实例。 相似文献
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类金刚石膜的制备及应用 总被引：7，自引：0，他引：7
介绍了类金刚石膜DLC的形成原理、制备方法和发展现状,总结了DLC在机械、电子、声学、光学和医学等领域的应用状况以及存在的问题。 相似文献
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