氦光干涉仪

一、概况用国产的激光干涉仪、平面测厚仪等可以满足精密零件平面不平度的测量要求。但由于仪器精密,结构复杂,调整困难,维护要求高,故只适用于计量单位作单件检测。目前在批生产中虽也应用光波干涉法来检测平而不平度,用平晶及普通光源照射,但其测量结果是不可靠的。存在两个问题:1.有时不显示干涉带纹,常需将平晶和零件推紧贴合,结果把两者