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本文主要总结了某计算机主存分机的振动试验,通过试验找到了机器的固有频率,摸清了振动频率以及没有减振器时对机器的影响,从而提出了机器在各种频率范围内的最佳工作区、一般工作区和非工作区,由此可以确保机器安全可靠地工作。 相似文献
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在半导体器件制造的蚀刻工艺中,目前还是以湿式化学蚀刻用得比较多。据美国统计,现在使用的湿式蚀刻设备,仍占54.2％。其余的占45.8％。干式蚀刻工艺虽多,但以等离子蚀刻使用得较多,约占33.7％。它表明,当前半导体器件生产仍然应用老的湿式技术。这种工艺工序繁琐、效率低、成本高,巳不能满足当前日益增长的需要。近几年来,除了继续开展于式离子蚀刻技术研究以外,美、日等国还在研制激光蚀刻新工艺。其中以美国起步较早,开展研究的也比较多,比如,贝尔研究所采用F_2准分子激光器进行了高分辨率真空紫外线光 相似文献
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