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1.
RB—SiC高致密、超光滑SiC表面改性涂层的制备
苑永涛
刘红
陈益超
敬畏
宋宁
方敬忠
《航天返回与遥感》
2011,32(6):74-77
为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜,利用射频磁控溅射方法,在直径80mm的RB—SiC基片上沉积了厚约60μm的SiC致密改性涂层,使用传统机械抛光方法对改性层进行超光滑加工,并测试了改性前后的表面粗糙度。结果表明,抛光后SiC表面改性RB—SiC反射镜表面粗糙度均方根（rms）值达到了0．316nm。获得了具有较高...
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