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1.
梁式硅微机械陀螺结构的研究
韩竞科
王东红
陈伟平
蓝慕杰
王喜莲
王蔚
于杰
《遥测遥控》
2001,(1)
通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。
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